Techniques innovantes pour la caractérisation optique microstructurale de couches minces

Collectif

Science et nature Technologie Économie et entreprises

Publié par CNRS, le 26 octobre 2006

Résumé

Les couches minces ou très minces (d'épaisseurs comprises entre seulement quelques micromètres et quelques nanomètres) sont omniprésentes dans notre environnement, que ce soit à l'état naturel, dans les mondes du vivant et minéral, ou à l'état synthétique, dans les objets manufacturés : membranes biologiques, couches d'altération, revêtements de protection, films à propriétés conductrices ou isolantes, couches colorées, membranes synthétiques, capteurs. Leurs propriétés d'usage dépendent à la fois de leur composition chimique globale et de leur microstructure. L'optimisation de ces propriétés nécessite donc une caractérisation fine de la microstructure. Cependant leur faible épaisseur rend particulièrement complexe cette opération. Cet ouvrage présente différentes techniques de caractérisation fondées sur l'analyse des interactions entre la matière et un faisceau électromagnétique ou neutronique. Il expose les bases théoriques et les derniers développements des techniques ellipsométriques, de réflectométrie (X, neutronique et optique) et de diffraction des rayons X. Les auteurs des différents chapitres, spécialistes reconnus, proposent des textes synthétiques assortis de références bibliographiques à partir desquelles le lecteur pourra approfondir ses connaissances. Cet ouvrage sera ainsi fort utile à tous les ingénieurs, chercheurs et étudiants souhaitant s'initier ou se perfectionner aux techniques de caractérisation de films minces.